快科技6月8日新闻,针对表界称台积电因守旧不愿投资下一代光刻设备的传言,台积电董事长魏哲家近日在股东大会上亲自辟谣,暗示有买High-NA EUV光刻机,且正致力研发,但基于成本考量,现阶段暂不投入量产。
台积电的战术是吓酌好手里现有的EUV设备。魏哲家强调,现有光刻机搭配多沉图案化技术,仍足以支持先进造程的微缩需要,台积电有底气等High-NA EUV的经济账算得更划算时再出手。
台积电早在2024年9月就接管了首台High-NA EUV光刻机,并安设在研发中心用于开发下一代工艺的基础光刻技术。魏哲家以为,提前启动研发筹备,能力确保未来投产时达到靠得住良率与产出效能。
不外他坦言,要把这台4亿美元的设备真正用起来,还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NA EUV提上量产日程,而台积电选择先研发、后投产更稳妥的路线,切合其一贯的成本纪律。
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