快科技6月8日新闻，针对表界称台积电因守旧不愿投资下一代光刻设备的传言，台积电董事长魏哲家近日在股东大会上亲自辟谣，暗示有买High-NA EUV光刻机，且正致力研发，但基于成本考量，现阶段暂不投入量产 。
台积电的战术是吓酌好手里现有的EUV设备 。魏哲家强调，现有光刻机搭配多沉图案化技术，仍足以支持先进造程的微缩需要，台积电有底气等High-NA EUV的经济账算得更划算时再出手 。
台积电早在2024年9月就接管了首台High-NA EUV光刻机，并安设在研发中心用于开发下一代工艺的基础光刻技术 。魏哲家以为，提前启动研发筹备，能力确保未来投产时达到靠得住良率与产出效能 。
不外他坦言，要把这台4亿美元的设备真正用起来，还需再等等 。英特尔等竞争者早已将High-NA EUV提上量产日程，而台积电选择先研发、后投产更稳妥的路线，切合其一贯的成本纪律 。
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