走进位于天津市津南区的华海清科股份有限公司(以下简称“华海清科”)，化学机械抛光、超精密减薄、离子注入等方面的集成电路关键设备在有序进行� ？樽樽啊⒄珊突懿馐�。
“我们在发展化学机械抛光后洗濯关键技术与机理钻研，优化洗濯工艺参数，解决抛光后晶圆表表的颗粒残留与缺点难题，着力提升洗濯成效的不变性和一致性。”华海清科博士后科研工作站掌管人说。
2013年落户津南区以来，华海清科的产品已宽泛利用于国内集成电路出产线，为我国集成电路产业自主可控发展提供沉要支持。
一家企业的成长，离不开一个区域对产业链的深耕。“我们打造了海河集成电路设备产业主题园区，出台有关配套支持政策。”津南区工业和信息化局党组书记、局长詹珽介绍，近年来，兴华清科、帝京半导体、锐洁机械人等链上企业加快集结，涵盖设备造作、资料研发、真空系统、半导体器件、自动化设备及封测设备等多个领域，形成了以华海清科为龙头，高低游企业协同发展的集成电路设备产业格局。2025年园区总产值达54.3亿元，同比增长16.14%。
“在园区内就有机械手臂、复杂结构机加件等关键部件的供给方，完整的产业链条让我们省去了‘东奔西跑’的麻烦，更加强了产业竞争力与市场自动权。”华海清科有关掌管人说。
近年来，津南区着力建设有引领作用的主题产业园区，打造特色产业集群，推动沉点产业向沉点园区荟萃、沉点园区向特色产业聚焦，链园结合，以园聚链，形成“乘法效应”。2024年，海河教育园、天开津南园与津南经开区“三园合一”，以造度创新驱出发分聚合，厚植智能产业发展沃土。
“我们将充分阐扬造作业基础优势，打造人为智能技术供给区和智能网联产业集群，加快人为智能学科人才引育，造就优质企业和平台载体，采取‘孵化+服务+引育+推荐’多元蹊径推动智能产业集聚。」夭珽说。
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